高精度真空計在真空裝置自動控制中，往往要進行真空測量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從100000-0.00001的各個真空區域的真空測量均會遇到。為了拓展高精度真空計的功能，真空儀器廠家還生產包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調節等功能模塊板供用戶選配。因此，一個配置齊全的高精度真空計，不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤差自動修正，而且能在壓力設定點發出控制信號去進行壓力控制，按設定壓力值進行壓力自動調節，還能將測量值打印記錄，并與上位機進行通信聯系，甚至還能進行遠距離真空測童與控制。 (1)壓力控制儀
在工業生產和科學實驗中，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上。這種要求通?？梢酝ㄟ^手動調節真空微調閥來完成，倘若希望自動地完成壓力調節，就要借助于壓力控制儀來完成。
壓力控制儀通常由真空測量單元(高精度真空計)、壓力自動調節電路和真空調節閥組成，它是集真空測量與壓力調節于一體的自動控制儀器。國產壓力控制儀主要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等系列產品。
表征壓力控制儀的主要技術指標是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應時間等。它取決于其配用的真空規管、控制電路及真空調節閥的性能。
壓力控制儀廣泛應用于離子注人、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等領域，其使用的環境條件與同類型的高精度真空計大致相同。
真空技術中習慣以各向同性的中性氣體的壓力來表示真空度的高低。通常把用于測量比大氣壓小得多的氣體壓力的工具稱為高精度真空計或真空規．由干空間內被測氣體大多數為混合氣體．因此．一般意義上的真空測量應屬于混合氣體的全壓力測量。所用的高精度真空計也是測量全壓力的高精度真空計．
真空測量技術還包括氣體成分分析和分壓力測量兩方面內容。前者是判斷殘余氣體中包含有哪些種類氣體成分并大略估計各自所占的比例．后者則是指在能滿足一定精度要求的條件下定量測定各種氣體成分的分壓力值。所使用的儀器基本是不同類型的質譜計．分別稱為殘余氣體分析儀和分壓力計。
目前所采用的高精度真空計．一種是從其本身測得的壓強物理量中直接算出氣體的壓力值．這就是高精度真空計，另一種是通過與氣體壓力有關的物理量以間接方法反映出所測的氣體壓力值．這就是相對高精度真空計。由于相對高精度真空計必須通過高精度真空計的校準才能準確地對真空度進行測量．因此在真空測量技術中除了應包括對氣體全壓力和分壓力的測量外．還必須把真計的校準問題納入其內。
