標準電容式薄膜真空計的主要優點及與電阻計、熱偶計比較

陶瓷電容式薄膜真空計與電阻計熱偶計有什么不同

薄膜真空計是迄今為止得到公認的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標準的一種真空儀器，也是我國推薦采用的具有法定計量校準檢定規程的一種真空度計量器具（校準參照規程：Q/WHJ46-1998標準型電容薄膜真空計校準規程）

（本公司的薄膜真空計產品小量程為：0.001~10Pa、寬量程為0.01Pa~100kPa，新型結構，復合式雙電容薄膜真空規）

注意了，此處與學生版的文章絕對不一致，以此為準
電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。

而我們常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的熱傳導型的真空測量方法，簡單一點來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數量級（誤差大于30%，行業標準是±50%？），尤其是在低真空段，誤差更大。使用過電阻計、熱偶計的度知道，測量前還需要零點、滿度校正一下，不然誤差還會更大。另外，不同成分的氣體其熱傳導系數是不一樣的，這種工況時，電阻計、熱偶計測量值會增加變化±20-50%。

所以，要使用熱偶計、電阻計準確測量真空度是很難的。

不過，它確實也有它的優點的：制造容易、價格低廉，還普遍使用著。用過的都領教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個價位的產品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看測量技術的先進性，而不是只看是不是進口的、數字、智能，等等；測量機理陳舊，再怎么數字、怎么智能，也于事無補的。

現代真空應用技術的發展，涉及的應用范圍越來越廣泛、真空應用設備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，這直接關系到真空設備的整體性能質量，關系到真空應用技術或應用工藝的應用效果，甚至于整個項目成功與否。

在精細化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產、高特新材料、新能源設備等等行業中尤其特出。
許多新設備、新工藝、新產品的開發之所以老是無法實現預想的技術指標和效果，往往就是因為真空測控儀表選型不當、其實際的測量控制精度無法達到設計要求所造成的。

國外的薄膜真空計的其典型代表如MKS-626\627、英?？礣CBG等等）。

  根據國內設備的情況，新型薄膜真空計采用了兩種基本結構：

1.薄膜真空規+智能儀表型、

2.真空壓力變送器（標準型號輸出）型。

采用專門設計的具有真空測控特點的精密二次儀器儀表，借籍于現代智能儀表技術的科技成果，有利于提供測量的精度、分辨率、穩定性和可靠性，增加智能化的自動控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數字量的接口，比進口的薄膜真空計更靈活、更方便）
實踐證明，具有現代智能儀表技術的新型陶瓷薄膜真空計使用到（環保能源生物醫藥常用設備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機等設備，做真空測量和自動控制帶來極大地方便和性能提高，可以快速升級為智能型的真空應用設備。當然，也可以用到科研實驗室、計量室作為相應的真空段的0.1級標準器，陶瓷芯片的優異性能使其年穩定度達到0.1%以上；



如果您在設備上已經使用了進口的品牌薄膜計，
不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計，（它的優越性能可能會使你覺得買老外的有點冤。。。）；

如果您一直在使用電阻計、熱偶計、甚至古老的麥氏真空計，
那么，相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計一定會給您的工作帶來改觀和驚喜。