標準電容薄膜真空計可分為絕對式和差壓式。把0帕定作零點標準的規稱為絕對式,把任意壓力值定作零點標準的規稱作差壓式。它的優點主要是性能穩定,精確度高,靈敏度與氣體種類無關;結構牢固、抗振動、壽命長;并可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力。缺點主要是預熱時間很長,可能會影響工作。 校準標準電容薄膜真空計時,應注意以下五點:
(1)傳感器調零時,首先應用標準信號將控制線路的零點和滿度調好,將溫度補償器調到所需要的位置上,測量中不可隨意變動。
(2)傳感器調零應在其預熱4小時后進行,必要時可(10～24)小時的恒溫加熱,才能使電容規達到最佳零點,也才能測得更精確。
(3)傳感器調零的位置,應比校準范圍下限低2～3個量級。如量程是1000Torr,則校準范圍是133. 3Pa～133300Pa。零點在真空系統抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右時才能調節,其余量程以此類推。
(4)調零以后,校準過程中環境溫度不能有驟然變化的現象發生。
(5)在校準過程中,避免傳感器過大的振動。
壓力測量中，除極少數直接測量外，絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。
1、真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。
2、絕對真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。
3、相對真空計則是必須經過絕對真空計的校準之后才能進行真空度的測量。
任何具體物理現象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內，超出這個范圍，關系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105～10-14 Pa)，沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區域，往往要造成較大的誤差。由上觀之，為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，抑制寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。
在較高壓力時(105～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，標準電容薄膜真空計，彈簧管壓力計等。 在103～10-2 Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
